• 商品名称：Bruker 布鲁克 Dektak XTL探针式轮廓仪 台阶仪
• 商品编号：SEMI000111
• 品牌：Bruker
• 上架时间：2014-07-10
• 商品毛重：0克

如果您发现商品信息不准确，欢迎电邮纠错。

鉴于国内市场恶性价格竞争考量，本站所有价格均为处理后的虚化价格！如果您对产品系列有切实需求，欢迎电邮询价或致电我们的客服。

24小时快速联系客服...电子邮件: info@plutusat.com ...手机（微信同号）：19941715801 & 13961884175...腾讯QQ：369517302

为了网站安全，我们临时关闭了在线付款模块，客户可以通过同步淘宝旗舰店plutusat.taobao.com网购所需的产品。

.

.

Dektak XTL探针式轮廓仪 也称 台阶仪

它是一种用来精确测量晶圆表面微观形貌的仪器。根据其核心功能和应用场景，可以这样定位：

核心功能定位

它的核心任务是测量，而非加工或制造。具体来说，它通过一根极其精细的探针在样品表面进行物理扫描，来获取表面的高度起伏信息。主要测量以下关键参数：

• 台阶高度（Step Height）：测量薄膜或特定结构的厚度。

• 表面粗糙度（Surface Roughness）：评估晶圆表面的平整度。

• 表面形貌（Surface Topography）：绘制3D图像，全面了解表面特征。

• 薄膜应力（Film Stress）：通过测量基底的弯曲程度来推算薄膜的应力。

在半导体制造中的具体应用

它广泛应用于半导体的研发和生产环节，尤其是在工艺开发和制程控制中扮演重要角色。例如，它被用来：

• 测量薄膜厚度，监控沉积工艺（如CVD、PVD）的质量。

• 表征刻蚀效果，测量刻蚀后形成的沟槽深度和形貌。

• 评估平坦化效果，测量CMP（化学机械抛光）后的表面凹陷或腐蚀情况。

与其他相关设备的区别

为了在分类时更清晰，你可以了解它与其他设备的区别：

• 与“缺陷检测设备”的区别：缺陷检测设备（如暗场/明场检测仪）主要寻找晶圆表面的颗粒、划痕等“污染或物理损伤”；而轮廓仪则专注于量化“形貌特征”，如薄膜厚度是否达标、刻蚀深度是否准确。

• 与“关键尺寸（CD）量测设备”的区别：CD-SEM等设备用于测量纳米级的线宽、间距等平面图形尺寸；轮廓仪则专注于测量纵向（Z轴）的形貌信息。

详细参数参考官网：https://www.bruker.com/zh/products-and-solutions/test-and-measurement/stylus-profilometers/dektak-xtl.html

 

用户评论(共0条评论)

• 暂时还没有任何用户评论

总计 0 个记录，共 1 页。 第一页 上一页 下一页 最末页

⚠️ 评论功能临时关闭

为了防止SQL注入等安全风险，我们暂时关闭了在线用户评论功能。如果您有任何产品咨询或购买需求，请通过以下方式直接联系我们：

📞 电话/微信：19941715801 或 13961884175

📧 电子邮件：info@plutusat.com

💬 腾讯QQ：369517302

🛒 淘宝旗舰店：plutusat.taobao.com

给您带来的不便敬请谅解，感谢您的理解与支持！